中微公司减压外延设备进入先进制程量产验证
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中微公司减压外延设备进入先进制程量产验证
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AI 综述
中微公司在分析师会议上披露，其减压外延设备已付运至先进制程客户端并进入量产验证阶段。同时，常压外延设备也在进行晶圆验证。 此外，该公司称PECVD设备的沉积速度较标配提升80%到100%，CuBS PVD的输出率提升50%至100%。
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最新进展11月2日 18:26
中微公司：减压外延设备已付运至先进制程客户端进入量产验证阶段报道时间线
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11月2日
- 金十数据中微公司：减压外延设备已付运至先进制程客户端进入量产验证阶段
中微公司在分析师会议上表示，其PECVD设备沉积速度较标配提升80%到100%，CuBS PVD输出率提升50%至100%。公司的减压外延设备已付运到先进制程客户端进入量产验证阶段，常压外延设备也在进入晶圆验证阶段。
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