中微公司：减压外延设备已付运至先进制程客户端进入量产验证阶段

中微公司在分析师会议上表示，其PECVD设备沉积速度较标配提升80%到100%，CuBS PVD输出率提升50%至100%。公司的减压外延设备已付运到先进制程客户端进入量产验证阶段，常压外延设备也在进入晶圆验证阶段。